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工业显微系统,高端的显微光学设计、加工水准,在亚微米级显微领域,具有优异的成像清晰度。其具备超大视野明视场、暗视场、高反差、偏振光、微分干涉观察方式;具有巧妙的模块化设计以满足4/6/8/12英寸晶圆拓展和大面积的液晶面板检查。